直线加速器可为极紫外光刻技术提供强大的动力。
英特尔、三星、台积电以及日本即将建造的先进晶圆代工厂速芯（Rapidus）正各自为营，准备在每平方毫米的硅片中塞入越来越多的晶体管，但这些企业有一个共同点：支撑它（试读）...
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