摘 要：论述了多片平板硅外延机台影响外延层均匀性的因素，通过试验验证影响因素，得出了控制这些因素的方法及条件。
关键词：多片平板外延机台;炉内均匀性;旋转控制系统
中图分类号：TN305 文献标志码（试读）...
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